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基于濾光片的結構簡單低成本多光譜成像儀

2012-12-25 admin1

近期,兩家大型上市光學薄膜公司共同開發出了一種可擴展的百萬像素級多光譜成像儀,該成像儀結合了薄膜與光刻技術,采用了圖像化二向色濾光片以及CCD或CMOS傳感器結構,適用于低成本、大容量的多光譜成像應用。


批處理濾光片

通常情況下,多光譜相機在圖像傳感器前放置旋轉濾光片轉輪或機械切塊的薄膜二向色濾光片。其他常規多光譜系統則使用帶有大量二向色濾光片的多臺相機,或者在傳統彩色相機的頂部放置多塊帶通濾光片,以在4~20個不同波長上對目標場景成像。


彩色照相機通常使用濾光的方法,這種方法放置不同顏色的凝膠濾光片(通常是有紅、綠、藍三種顏色的彩色濾鏡陣列)在一個二維探測器陣列上,以形成彩色照相機。新型百萬像素級多光譜成像儀使用的是相同的概念,但是用在通帶為20~200nm的范圍內捕捉特定波段的二向色濾光片取代了廣譜彩色凝膠。此外,單個像素可以是長通濾光片、短通濾光片或光學透明的。


該成像儀的制造過程結合了薄膜制備方法和標準的光刻技術,本質上是將數以千計或數以百萬計的非常小(特征點大小10μm,相鄰特征點間的重合公差為1μm)的薄膜二向色濾光元件覆蓋在百萬像素陣列上各像素的頂部(如圖)。微濾光片是通過將標準的光刻膠涂覆到襯底上,重復一系列的掩模對準、曝光、蝕刻、薄膜沉積,以及剝離工藝來制造濾光片陣列。該濾光片可以直接安裝到CCD或CMOS探測器陣列上。

 

濾光片

 

圖:顯微照片顯示了以混合的薄膜光刻技術制造的二向色濾光片,用于制造成本更低的新型百萬像素級多光譜成像儀。該濾光片可以專門設計成低亮度場景(左)或外加紅外濾光片(右)提供彩色圖像。矩形元素的尺寸為19μm-33μm。


如果只需要五個系統,那么制造過程顯得并不實用或并不劃算,但是當需要大量系統時,百萬像素級多光譜成像儀就可以很好地大規模生產。在生命安全應用方面,更低成本的多光譜成像儀具有巨大潛力;如通過掃描檢測出污染物來協助確保食品安全,例如最近在西紅柿和菠菜中爆發的大腸桿菌,或者在手術過程中幫助識別和確定癌細胞。海洋光學首席技術官Jason Eichenholz說,雖然研究實驗室正在開發針對這些應用的超光譜系統,但是對于真正的廣泛配置來說,它們太昂貴、體積太大并且太過復雜。鍍膜工藝的規模¾¬濟性使得我們的多光譜圖像儀能夠非常容易地應用于超市、病人的床邊、普通農民的拖拉機上或者包裝工廠中。


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